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La pompe chimique hybride RC 6 a été développée particulièrement pour minimiser les effets contraires des vapeurs agressives et de condensation. La pompe RC 6 est particulièrement recommandée pour les travaux de lyophilisation ou d'évaporation/concentration. La RC 6 est composée d'une pompe à palettes à deux étages RZ 6 en série avec une pompe à membrane chimique MZ 2C. 

| Avantage: - bonne vitesse de pompage de la pompe RZ 6 débit élevé (5.9 m3/h) sous vide poussé (2x10-3 mbar) - travail sans piège à froid dans la plupart des cas - fréquence de changement d'huile réduite de 90 % - performance de vide d'une pompe à palette avec les avantages d'une pompe à membrane en sortie - corrosion très réduite même avec des gaz corrosifs
| Type | Ultimate vacuum (partial) without gas ballast | Ultimate vacuum (total) without gas ballast | Ultimate vacuum (total) with gas ballast | Pumping speed max. / m3/ h |
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| mbar | mbar | mbar | 50 Hz | 60 Hz |
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| | RC 6 | 4 x 10-4 | 2 x 10-3 | 1 x 10-2 | 5.9 | 6.9 |
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